文/本刊记者 叶兮

广义上的半导体行业，包括了众多细分领域，同时每一个领域又包含多段工序，无论是前段的晶体制造、中段的封装集成，还是后段的组装包装、运输等，机器人都可以发挥自动化的特殊优势，为半导体行业带来全新的生产效益和品质管理。

洁净空间 机器人的精细化操作

半导体产业，易碎的产品和干净的房间，为自动化机器人提出特别挑战。机器人产品不仅需要满足无尘空间的等级要求，而且面对极为细微的器件需要精准的细节操作，精度等级要求苛刻。

目前，国际半导体知名企业均有采用机器人作业，但多以国外机器人品牌为主。中国能够提供这一技术支持的企业凤毛麟角。据悉，早在2005年，新松公司就研发出应用于半导体行业的核心设备洁净（真空）机械手、同心驱动真空机械手、大气机械手、侧立柱机械大气手、末端侧翻大气机械手、FPD机器人等产品，并批量投放市场。新松公司研制的洁净机器人，应用了斯科拉手臂、蛙腿型手臂等国际先进技术，全部采用伺服驱动。

此外，日东电子也在半导体行业拥有技术积累和成功案例。

机器视觉 半导体检测的锐利双眼

机器视觉在半导体行业的应用已非常普遍，应用范围也越来越广，涉及到半导体外观缺陷、尺寸大小、数量、平整度、间隔、定位、校准、焊点质量、弯曲度等等的检测和测量，根据图像数据判断找出缺陷产品。

目前，我国的机器视觉技术已能够满足基础的半导体检测需求，但在与机器人配合使用时，尚缺乏经验。尤其是对精度要求更多的3D视觉技术与机器人的完美结合，还需要进一步努力。

拾取、分拣、搬运 工业机器人大显神通

半导体产品在生产线的拾取、分拣和搬运工作通常需要密集的劳动力，而人工存在着各种不可控的因素，导致产品的品质管理存在难题。这为工业机器人的发展提供基础。

目前，工业机器人主要可以提供拾取、分拣、搬运、码垛和包装等服务。拾取分拣机器人以速度和精度为重要指标，目前国外较快的机械手可以达到每分钟240次以上，而国内产品多数在150次上下。搬运码垛机器人为半导体产品提供物流支持，可以实现车间内、车间与车间的自由移动。

当前，AGV移动机器人运用普遍。中国国内半导体厂商多使用第一代，第二代自动搬运小车。目前，新型的AGV车上安装了多关节手臂机器人，用于搬运保管设备和制造设备之间的foup。台湾，韩国有半导体厂商很多使用这种小车的案例。

半导体的新兴行业——LED照明和LED显示屏行业同样也在逐步引进各种机器人，其中封装企业如聚飞光电、瑞丰光电等已成功采用机器人作业，而LED照明灯具的组装和显示屏模组的拼接等也有机器人运作案例。这一行业成为当前关注热点。