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OHT天车与AMR搬运机器人协作应用

发布时间: 2021-12-03 04:12:13 来源:捷螺系统

核心提示: 捷螺系统专攻半导体晶圆搬运机器人,配合FAB厂OHT协作,即空中OHT搭配地面AMR,更加全面实现全厂物料自动搬运, 综合性价比也相对较高。

晶圆厂是使用自动化材料处理系统(AMHS)的自动化工厂。广泛使用高架式芯片运输车(OHT)系统将8/12" wafer box (open cassette/FOUP)从一组设备运送到另一组。

AMHS的搬送一般分为Interbay和Intrabay,OHS负责Interbay,作为工序区间搬送系统;而OHT+AMR 负责Intrabay,目前不仅应用于工序区内部运输,也应用于工序区间或工厂间运输。

要实现全厂OHT覆盖,AMHS系统的成本会非常高,(简单估算下来,一条8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。)在当前中国大陆的FAB厂中,使用OHT的FAB厂屈指可数。这也对厂内IE规划也是个极大的考验。

为此,捷螺系统专攻半导体晶圆搬运机器人,配合FAB厂OHT协作,即空中OHT搭配地面AMR,更加全面实现全厂物料自动搬运, 综合性价比也相对较高。目前,Gyrobot已与多家OHT厂家(Muratec、Mirle等),实现FAB车间对接协作,为半导体工厂自动化生产提升更高效率。

OHT天车负责空中轨道高速传输作业,地面上由AMR来实现高弹性效率作业,实现由STOCKER、OHT、AMR、EQ间 无死角无盲区对接 ,真正实现FAB车间无人化自动生产。

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