微机电系统（MEMS）产业集中了当今科学技术发展的许多尖端成果，涉及多种学科和工程技术，具有体积小、重量轻、功耗低、价格低、集成度高、可批量制造等优点。在生活当中，MEMS传感器已经在智能手机、智能家居、汽车中广泛应用，例如手机上的硅麦克风、惯性传感器、电子罗盘、高度计等，汽车上的温度、压力、位置、转速、加速度和振动等传感器件。随着物联网、智能家居、人工智能、智慧医疗等产业的发展，MEMS传感器产品作为智能感知时代的重要硬件基础，前景无限。今年，国家工业和信息化部下发意见函，中国工程院组织遴选的MEMS传感器产业化等16个项目，拟作为《中国制造2025》2017年重大标志性。
【MEMS器件阵列（如图，中央的正方体组件）】
【智能手机简化示意图】
据统计，2016年MEMS市场规模约114亿美元，其中，国内需求规模约42亿美元，占比36.8%。目前，国内MEMS产业链总体偏弱，尤其是制造环节，而且国内MEMS产品门类依然相对较少，主要还是以惯性器件和压力传感器为主，且多是中低端产品，创新性强的新器件、新系统鲜有出现，导致市场存在着巨大的供需矛盾，大部分需求只能依赖于进口。为了更深入的了解国内MEMS产业发展状况，近日，今日智造的记者走访了华东MEMS集群地，也是全球最大的纳米技术应用综合社区——苏州纳米城，采访了苏州纳米城开发实体苏州纳米科技发展有限公司董事长兼总裁张希军。
采访中张总告诉记者，苏州纳米城MEMS产业链体系的构建，是站在整个产业格局立场，立足行业发展，根据自身资源、结合国内产业发展状况做了一系列举措，为MEMS产业的发展提供良好的土壤，以促进MEMS产业资源集聚和发展。
那么，苏州纳米城MEMS产业链的搭建是从哪些方面切实解决行业内存在的诸多问题呢？
【建立中试平台】
国内MEMS产业最薄弱的环节在生产制造，而产品从实验室走向市场化过程中，研发与批量化之间缺乏衔接。为此，苏州纳米城早在成立之初就建成了国内首个全开放、市场化运作的MEMS加工平台，填补了产品概念验证与规模代工厂之间的中试空白，平台完全按照foundry模式建立，体系化管理，从根本上解决了中小MEMS设计企业产品化上的最大难题。
经过近4年的深耕，平台具备了完整的工艺库及各种器件工艺匹配能力。截止目前，已服客户近30家，累计支撑客户完成近85颗MEMS芯片开发生产，涉足领域广泛，不仅有市场化程度很高的消费类及汽车电子产品，例如硅麦克风、压力、气体、温度、流量计等，也有代表前沿技术或是具备市场增长潜质的工业类及通讯类产品，例如微镜、喷墨头、非制冷红外、气体、RF-MEMS等。同时，平台在较短时间内实现了多个硅麦克风及微镜项目量产，助力客户将产品快速打入市场的同时，也为平台的良好发展奠定了基础。至2017年11月平台月产已突破千片规模，成为国内最快实现此指标的MEMS代工企业之一，后续平台将把稳定交付作为发展的重心。
【成立行业协会】
为了更好的推动中国MEMS产业的快速发展，创建企业展示自身发展的科技平台，苏州纳米与国内40多家MEMS行业龙头企业、顶级科研院所、知名高校共同成立“中国半导体行业协会MEMS分会”。协会旨在构建MEMS设计、研发、加工制造、封装测试等全产业链联动关系，实现以MEMS产品为主线的产业资源垂直整合，推动我国MEMS产业领域的人才集聚、技术创新、成果转化。协会发展至今已汇聚产业链上、下游会员单位逾350家。
MEMS分会成立三年以来从事了一系列全国性产业扶持工作，带动了和推动了全国产业发展。MEMS分会配合工信部连续多年从事MEMS行业职业技术培训，培训总计超过500人次，为行业输送了大量二次培育的专精人才，具备MEMS培训工作基础及一定的学员基础。自MEMS分会成立以来，积极开展多层次的技术和市场的交流合作，对国内各省市地区MEMS企业详细梳理，收集整理年度产值数据，完成多份产业报告并举办多场全国性论坛并参与行业展览，不断增加协会粘性。
【产业专利导航】
深耕细作MEMS产业专利导航，协助开展区域产业发展规划，推动专利优势转化成为产业优势。苏州纳米城顺利创建全国MEMS产业专利导航综合服务平台，以MEMS产业领域为突破口，推动MEMS专利分析和预警研究，为企业提供MEMS专利检索分析等综合服务，开展MEMS产业共性技术、关键环节专利收储，为5家重点MEMS企业实施专利微导航项目。协助完成《苏州工业园区专利导航纳米技术应用产业(MEMS方向)创新发展规划》，积极促成《苏州工业园区关于促进微纳电子机械系统产业发展实施细则（试行）》政策的出台，让中小MEMS企业享受更多的政策红利。
【引进人才培训体系】
人才发展推动企业发展，产业交流依托技术创新。苏州纳米从市场发展需求出发，引进“人才培训体系”，聚焦MEMS产业需求，面向全国组织产业技术人才培训、组织高端创新资源交流论坛，吸引了包括园区在内多地企业、机构人员参加，累计达1000人次。针对国内高校与产业存在的脱节问题，对口培养实用型人才，提高技术人员的实操能力，以努力达到产业要求，确保行业竞争力。
苏州纳米城，作为拓展国内MEMS产业的先行者，为推动国内MEMS产业发展不余遗力。目前区域内MEMS企业已超过30家，涵盖了设计、制造、封装、应用整个产业链环节，今日智造记者相信，随着苏州纳米城的壮大和发展，将为中国MEMS产业发展做出更大的贡献，有苏州纳米城这样的平台体系支撑，本土MEMS企业将栉风沐雨，砥砺前行，共同创造中国MEMS产业的大未来！
