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【视频】晶圆生产线多类型AMR协作应用实例

发布时间: 2022-01-05 09:01:30 来源:捷螺系统

核心提示: 捷螺系统针对AMHS通过AMR机器人来解决整厂的物料传输。

半导体晶圆制造厂内AMHS( 自动物料搬送系统 - AMHS Automatic Material Handling System)的搬送一般分为Interbay和Intrabay。

捷螺系统针对AMHS通过AMR机器人来解决整厂的物料传输,即晶圆纯运输机器人负责Interbay,作为工序区间搬送系统;复合型手臂机器人负责Intrabay传输及对接机台作业。两者可相互对接协作,应用于工序区间或工厂间运输。更加全面实现全厂物料自动搬运。

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